等離子清洗機(jī)使用的工藝氣體如Ar，He，H2等是非反應(yīng)性氣體。這些氣體原子不直接進(jìn)入到高分子材料表面的大分子鏈中，但由于這些非反應(yīng)性氣體等離子中的高能粒子對(duì)材料表面的轟擊，進(jìn)行能量傳遞，產(chǎn)生大量的自由基，借助于這些自由基在材料表面形成雙鍵和交聯(lián)的結(jié)構(gòu)，所以非反應(yīng)性氣體等離子體在材料表面形成薄薄的致密的交聯(lián)層，不僅改變了材料表面的自由能，而且還可以減少高分子內(nèi)部低分子物質(zhì)（增塑劑、抗氧劑等）的滲出。

　　當(dāng)選用惰性氣體進(jìn)行等離子表面處理時(shí)，如果被處理的高分子材料本身含有氧，則會(huì)因大分子斷裂分解而形成大分子碎片進(jìn)入等離子體內(nèi)，向等離子體系統(tǒng)提供了氧，也將產(chǎn)生氧等離子體的效果。如果材料本身不含氧，用惰性等離子體處理之后新生的自由基（半衰期可達(dá)2~3天）和空氣中的氧作用也會(huì)導(dǎo)致氧結(jié)合到大分子鏈上,所以惰性氣體等離子體處理含氧的高分子材料時(shí)，將出現(xiàn)交聯(lián)刻蝕，引入極性基團(tuán)三者的競(jìng)爭(zhēng)反應(yīng)，對(duì)于不含氧的高分子材料，只是處理后與空氣中的氧作用而引進(jìn)含氧基團(tuán)。
 

　　工作中的等離子清洗機(jī)的等離子體體表面處理是指非聚合性氣體對(duì)高分子材料表面作用所發(fā)生的物理和化學(xué)過(guò)程。非聚合性氣體包括反應(yīng)性氣體和非反性氣體,等離子清洗機(jī)選用的氣體分類的不同對(duì)高分子材料表面作用的機(jī)理也不相同。

　　等離子體誘導(dǎo)聚合是在輝光放電條件下產(chǎn)生的活化粒子誘導(dǎo)的通常的（分子）聚合作用，在材料表面產(chǎn)生目由基，然后與單體結(jié)合，結(jié)合方式有分子鏈發(fā)生交聯(lián)或側(cè)鏈上接枝、官能團(tuán)置換及嵌段聚合等等。要用等離子體誘導(dǎo)聚合作用形成聚合物，單體必須含有聚合能力的結(jié)構(gòu)，如烯烴的雙鍵、三鍵或環(huán)狀結(jié)構(gòu)。等離子體態(tài)聚合（PSP）是通過(guò)等離子體活化粒子的再聚合而沉積到材料表面，這種聚合作用是該過(guò)程在等離子體中產(chǎn)生的原子的過(guò)程。